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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4824724-8
Sachbegriff MEMS
Quelle Thes. Technik
Synonyme Mikroelektromechanisches System
Microelectromechanical systems
Oberbegriffe Mikrosystemtechnik
Elektromechanisches Bauelement
DDC-Notation 621.3815
621
621.381
Systematik 31.8b Feinwerktechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Microelectromechanical systems
RAMEAU: Systèmes microélectromécaniques
Untergeordnet 1 Datensatz
  1. Bio-MEMS
    MEMS
Thema in 350 Publikationen
  1. Design und Umsetzung einer mikrotechnologisch gefertigten Kraftkompensationswaage
    Wedrich, Karin. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2025
  2. Electrochemical Methods
    Kieninger, Jochen. - Berlin/München/Boston : De Gruyter Oldenbourg, 2025, 2nd, Completely Revised and Extended Edition
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 194 Publikationen
  1. 32 Schritte auf dem Weg vom Mem über das Memom zur Liebe
    Eckardt, Helmut. - Berlin : epubli, 2025, 1. Auflage
  2. Additive manufacturing of piezoelectric thin films with perovskite and fluorite structure by chemical solution deposition for MEMS applications
    Lübben, Jan. - Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2025
  3. ...





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