Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1060005034 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mikrobump-Entwicklung mit einem Pitch von 6 μm unter Verwendung eines Ionenstrahlätzprozesses / Jennifer Heß. Gutachter: Roland Schmechel. Betreuer: Holger Vogt |
| Person(en) |
Heß, Jennifer (Verfasser) Vogt, Holger (Akademischer Betreuer) Schmechel, Roland (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Duisburg ; Essen : Universitätsbibliothek Duisburg-Essen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Heß, Jennifer: Mikrobump-Entwicklung mit einem Pitch von 6 μm [my-m] unter Verwendung eines Ionenstrahlätzprozesses |
| Hochschulschrift | Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Diss., 2014 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:464-20141013-145135-7 |
| URL | http://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DocumentServlet?id=35673 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Chip* ; Verdrahtung* ; Ionenstrahlätzen* ; Bonden* ; Kontaktwiderstand* ; Substrat <Mikroelektronik>* ; Wafer* ; Widerstand <Elektrotechnik>* ; Dreidimensionale Integration* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.381046 [DDC22ger]; 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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