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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Reinigung und Strukturierung empfindlicher Oberflächen mittels Excimerlaserstrahlung : Entwicklung und Anwendung eines Applikationsgerätes / Karl-Heinz Steglich
Person(en) Steglich, Karl-Heinz (Verfasser)
Ausgabe 1. Auflage
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2010
Umfang/Format Online-Ressourcen, 261 Seiten : 156 Illustrationen (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Steglich, Karl-Heinz: Reinigung und Strukturierung empfindlicher Oberflächen mittels Excimerlaserstrahlung
Hochschulschrift Dissertation, Helmut-Schmidt-Universität, Univ. der Bundeswehr Hamburg, 2008
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-201701292857
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-8782-5
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Berichte aus der Lasertechnik
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Oberflächenreinigung ; Strukturierung ; Mikrobearbeitung ; Laserablation ; Excimerlaser ; Geräteentwicklung
DDC-Notation 620.44 [DDC22ger]; 681.76 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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