Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985526122 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Integration von piezoelektrischen Dünnschichten in einen MEMS-kompatiblen Prozessablauf auf Waferebene / Harald Jacobsen |
| Person(en) | Jacobsen, Harald (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | VI, 107 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Jacobsen, Harald: Integration von piezoelektrischen Dünnschichten in einen MEMS-kompatiblen Prozessablauf auf Waferebene |
| Hochschulschrift | Kiel, Univ., Diss., 2007 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| DDC-Notation | 621.38154 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 B 23618 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 B 27013 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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