Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1002867193 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Lithographieunabhängige nanoskalige MOS-Technologie auf Bulk-Silizium / Klaus Kallis |
| Person(en) | Kallis, Klaus (Verfasser) |
| Verlag | Münster : Theophano-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: c 2009 |
| Umfang/Format | XVI, 138 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm, 480 gr. |
| Hochschulschrift | Zugl.: Dortmund, Techn. Univ., Diss., 2009 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-9809338-6-5 kart. : EUR 24.90 |
| EAN | 9783980933865 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | MOS-FET ; Kurzkanal-FET ; Silicium ; Nanotechnologie ; Prozesssimulation ; Prozessoptimierung |
| DDC-Notation | 621.3815284 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2010 A 48492
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2010 A 60967
Bereitstellung in Leipzig |
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