Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mesoscopic simulation of photoresist processing in optical lithography = Mesoskopische Simulation der Photolackbearbeitung in der optischen Lithographie / vorgelegt von Thomas Schnattinger
Person(en) Schnattinger, Thomas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format XII, 151 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Schnattinger, Thomas: Mesoscopic simulation of photoresist processing in optical lithography
Hochschulschrift Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2007
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Computersimulation ; Direkte numerische Simulation ; Diskrete Simulation ; Monte-Carlo-Simulation ; Simulation ; Photoresist ; Lithographie <Halbleite
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2008 A 5342
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2008 A 13996
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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