Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4326684-8
Sachbegriff ECR-Beschichten
Quelle Lex. Elektronik Mikroelektronik (unter Schichtabscheidung)
Synonyme Electron Cyclotron Resonance-Beschichten
Elektronenzyklotronresonanzbeschichten
Elektronen-Zyklotron-Resonanz-Beschichten
Oberbegriffe CVD-Verfahren
DDC-Notation 671.735
Systematik 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.8a Fertigungstechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Thema in 17 Publikationen
  1. Herstellung und Charakterisierung dünner Gatedielektrika auf Germanium
    Röver, Kai-Sven, 2003
  2. Herstellung und Charakterisierung dünner Gatedielektrika auf Germanium
    Röver, Kai-Sven, 2003
  3. ...





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