Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
Treffer 5933 von 6527
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/986054909 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Photonenaktivierte Reinigungs-und Oxidationsprozesse für die Nanoelektronik / Andreas Aßmuth |
| Person(en) | Aßmuth, Andreas (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Göttingen : Cuvillier |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | VI, 135 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2007 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-86727-386-2 kart. : EUR 23.00 3-86727-386-3 kart. : EUR 23.00 |
| EAN | 9783867273862 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Nanoelektronik ; Halbleiteroberfläche ; Oberflächenreinigung ; Gasphasenreaktion ; Excimerlaser ; Ausgangsmaterial Nanoelektronik ; Halbleiteroberfläche ; Oxidation ; Oberflächenreaktion ; Excimerlaser ; Laserinduziertes Verfahren |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2008 A 66532
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2008 A 28424
Bereitstellung in Leipzig |
Treffer 5933 von 6527
Administration
