Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/986605239 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Plasmaloses Trockenätzen von Silizium mit Chlortrifluorid : Untersuchung des Ätzmechanismus und Anwendungen in der Mikrosystemtechnik / vorgelegt von Arnim Höchst |
| Person(en) | Höchst, Arnim (Verfasser) |
| Verlag | Tönning ; Lübeck ; Marburg : Der Andere Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | 108 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Tübingen, Univ., Diss., 2007 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-89959-668-7 kart. : EUR 31.90 (DE) |
| EAN | 9783899596687 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Mikrosystemtechnik ; Trockenätzen ; Chlortrifluorid ; Silicium |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2009 A 55826
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2009 A 83136
Bereitstellung in Leipzig |
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