Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek in Frankfurt am Main ist an Fronleichnam, Donnerstag, 4. Juni 2026 geschlossen. // The German National Library in Frankfurt am Main will be closed on Thursday, 4 June 2026 due to a public holiday (Fronleichnam).
 
Neuigkeiten Mittwoch, den 10. Juni 2026 öffnen die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig erst ab 13 Uhr. // On Wednesday 10 June 2026 The German National Library in Leipzig will not open until 13:00.
 
 

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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4221617-5
Sachbegriff Mikrosystemtechnik
Quelle B 1986 (Erg.)
Lueger
ZDE-Thes.
Erläuterungen Verwendungshinweis: Zusammenlegung von Mikrosystemtechnik und Mikrotechnik trotz zweier Einträge in B 1986/Erg. einvernehmlich bestätigt (Okt.1996)
Synonyme Mikrotechnik
Oberbegriffe Feinwerktechnik
Fertigungssystem
Thematischer Bezug Verwandter Begriff: Mikroelektronik
Verwandter Begriff: Mikrofertigung
DDC-Notation 621
Systematik 31.8b Feinwerktechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Microtechnology
RAMEAU: Microtechniques
Beispiele 2 Begriffe
  1. microTEC
    Firma (kif)
  2. Rajaeipour, Pouya
    1991- / Ingenieur
Untergeordnet 10 Datensätze
  1. LIGA-Verfahren
    Mikrosystemtechnik
  2. MEMS
    Mikrosystemtechnik
  3. ...
Thema in 955 Publikationen
  1. Entwicklung eines piezoelektrischen MEMS-Lautsprechers mit gefalteter Membran
    Becker, Dennis. - Freiburg : Universität, 2025
  2. Experimental investigation and numerical modeling of time dependency of contact angle on laser micro-structured stainless steel
    Chijiiwa, Munehiro. - Kaiserslautern : Leibniz-Institut für Verbundwerkstoffe GmbH, [2025]
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 251 Publikationen
  1. Erforschung eines mikrosystemtechnischen Fertigungsprozesses zur Herstellung von flexiblen Mikroschleifwerkzeugen
    Steinhoff, Lukas. - Garbsen : TEWISS - Technik und Wissen GmbH, 2026, 1
  2. Galvanische Aluminiumabscheidung für das Waferlevel Thermokompressionsbonden mit dicken Aluminiumschichten
    Braun, Silvia. - Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2026
  3. ...





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