Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=68*
Treffer 599 von 2507
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1081996838 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Characterization and reliability testing of thin-film materials for robust MEMS sensors / Radoslav Rusanov |
| Person(en) | Rusanov, Radoslav (Verfasser) |
| Organisation(en) | Shaker Verlag (Verlag) |
| Ausgabe | [1. Auflage] |
| Verlag | Aachen : Shaker Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2016 |
| Umfang/Format | xxix, 249 Seiten : Illustrationen ; 21 cm, 425 g |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruher Institut für Technologie, 2015 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8440-4260-3 Broschur : EUR 49.80 (AT), sfr 62.30 (freier Preis), EUR 49.80 (DE) 3-8440-4260-1 |
| EAN | 9783844042603 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
| Schlagwörter |
MEMS ; Sensor ; Siliciumdioxid ; PECVD-Verfahren ; Dünne Schicht ; Wärmeleitfähigkeit ; Wärmekapazität MEMS ; Sensor ; Siliciumcarbid ; LPCVD-Verfahren ; Dünne Schicht ; Elektrische Eigenschaft ; Mechanische Eigenschaft Sensor ; MEMS ; Dünne Schicht ; Zuverlässigkeit |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2016 A 20284
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2016 A 38533
Bereitstellung in Leipzig |
Treffer 599 von 2507
Administration
