A novel approach to construct self-assembled 3D MEMS arrays

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/127471236X
Titel	A novel approach to construct self-assembled 3D MEMS arrays / by Sapida Akhundzada, Xiaohui Yang, Johannes Fiedler, Eireen Käkel, Basim Al-Qargholi, Stefan Buhmann, Arno Ehresmann, Hartmut Hillmer
Person(en)	Akhundzada, Sapida (Verfasser) Yang, Xiaohui (Verfasser) Fiedler, Johannes (Verfasser) Käkel, Eireen (Verfasser) Al-Qargholi, Basim (Verfasser) Buhmann, Stefan (Verfasser) Ehresmann, Arno (Verfasser) Hillmer, Hartmut (Verfasser)
Organisation(en)	SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format	Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:101:1-2022120521045990123069 DOI: 10.1007/s00542-022-05361-1
URL	https://doi.org/10.1007/s00542-022-05361-1 (Open Access)
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2022
DDC-Notation	530.411 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Enthalten in: Microsystem technologies (Bd. 28, 20.8.2022, Nr. 9, date:9.2022: 2139-2148)
Sachgruppe(n)	530 Physik

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