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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1355329019
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung von Hochtemperatur-Schichtsystemen für MEMS Anwendungen mittels Atmosphärendruck-Sputtertechnologie (APSLD) / Jan Bickel ; Gutachter: Klaus-Dieter Lang, Martin Schneider-Ramelow, Stefan E. Schulz, Ha-Duong Ngo ; Betreuer: Klaus-Dieter Lang
Person(en) Bickel, Jan (Verfasser)
Lang, Klaus-Dieter (Akademischer Betreuer)
Lang, Klaus-Dieter (Gutachter)
Schneider-Ramelow, Martin (Gutachter)
Schulz, Stefan E. (Gutachter)
Ngo, Ha-Duong (Gutachter)
Verlag Berlin : Technische Universität Berlin
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2025
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Berlin, Technische Universität Berlin, 2024
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2502050057378.568043298281
DOI: 10.14279/depositonce-22515
Handle: 11303/23702
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter MEMS* ; Internetphänomen* ; Verbindungstechnik* ; Dünne Schicht* ; Silicium* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 620.19 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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