Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Application of Silicon-on-Nothing and carbon sacrificial layer methods in suspended pressure and temperature sensing micromechanical systems / Andrey Kravchenko ; Gutachter: Wolf-Joachim Fischer, Jan Mehner ; Betreuer: Wolf-Joachim Fischer
Person(en) Kravchenko, Andrey (Verfasser)
Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Fischer, Wolf-Joachim (Akademischer Betreuer)
Mehner, Jan (Gutachter)
Verlag Dresden : Technische Universität Dresden
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2022
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Dresden, Technische Universität Dresden, 2021
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-774844
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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