Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985102365 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologische Konzepte zur Herstellung von monolithischen bidirektionalen Schaltern (MBS) / Matthias Baus |
| Person(en) | Baus, Matthias (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | III, 134 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 210 gr. |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Baus, Matthias: Technologische Konzepte zur Herstellung von Monolithischen Bidirektionalen Schaltern (MBS) |
| Hochschulschrift | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-6386-7 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 3-8322-6386-1 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 |
| EAN | 9783832263867 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Schlagwörter |
Monolithischer bidirektionaler Schalter ; Lateralstruktur ; Prozessentwicklung <Technik> ; CMOS ; Lithografie <Halbleitertechnologie> ; Wafer Monolithischer bidirektionaler Schalter ; Simulation ; Funktionstest ; Schaltvorgang ; Elektrische Eigenschaft ; Temperaturverhalten |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 A 53461 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 A 73055 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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