Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Sachbegriffe
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Sachbegriff Hochfrequenzsputtern
Quelle B Naturwiss. unter PVD-Verfahren
Synonyme Hochfrequenzzerstäubung
RF-Sputtern
Oberbegriffe Sputtern
DDC-Notation 671.735
Systematik 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.8a Fertigungstechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Sputtering (Physics)
RAMEAU: Pulvérisation cathodique
Thema in 14 Publikationen
  1. RF überlagertes DC-Sputtern von transparenten leitfähigen Oxiden
    Heimke, Bruno. - Chemnitz : Univ.-Verl., 2013
  2. RF überlagertes DC-Sputtern von transparenten leitfähigen Oxiden
    Heimke, Bruno. - Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz, 2013
  3. ...





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