Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4208514-7
Sachbegriff Magnetronsputtern
Quelle B Naturwiss. unter PVD-Verfahren
Oberbegriffe Sputtern
DDC-Notation 671.735
Systematik 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.8a Fertigungstechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Untergeordnet 1 Datensatz
  1. Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern
    Magnetronsputtern
Thema in 203 Publikationen
  1. Entwicklung von wasserstoffhaltigen amorphen Kohlenstoffschichten (a-C:H) für mediengeschmierte Tribosysteme
    Decho, Helge. - Düren : Shaker, 2023, 1. Auflage
  2. Entwicklung von wasserstoffhaltigen amorphen Kohlenstoffschichten (a-C:H) für mediengeschmierte Tribosysteme
    Decho, Helge. - Düren : Shaker Verlag, 2023
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 40 Publikationen
  1. Reactive DC Magnetron Sputtering for the Deposition of Semiconductor Thin Films and their Use in Photoelectrochemical and Photocatalytic Applications
    Kim, Hyesung. - Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2026
  2. A study on the microstructure formation mechanisms and functional properties of new β-FeSi₂-based polycrystalline thin films for photovoltaic applications using correlative electron microscopy
    AbuMuhfouz, Maram Aref. - Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2025
  3. ...





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