Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/983346089 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Mechanical surface nano-patterning of Indium phosphide and silicon for subsequent electrochemical processing = Mechanische Oberflächen-Nanostrukturierung von Indiumphosphid und Silizium für anschließende elektrochemische Prozesse / vorgelegt von Rémy Gassilloud |
Person(en) | Gassilloud, Rémy (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
Umfang/Format | 4, 143 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Gassilloud, Rémy: Mechanical surface nano-patterning of Indium phosphide and silicon for subsequent electrochemical processing |
Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 (Nicht für den Austausch) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Schlagwörter | Silicium ; Indiumphosphid ; Elektrolytisches Ätzen ; Nano-ritzen ; Selektivität |
DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Frankfurt |
Signatur: 2007 B 15995 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2007 B 8222 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
