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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mechanical surface nano-patterning of Indium phosphide and silicon for subsequent electrochemical processing = Mechanische Oberflächen-Nanostrukturierung von Indiumphosphid und Silizium für anschließende elektrochemische Prozesse / vorgelegt von Rémy Gassilloud
Person(en) Gassilloud, Rémy (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format 4, 143 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Gassilloud, Rémy: Mechanical surface nano-patterning of Indium phosphide and silicon for subsequent electrochemical processing
Hochschulschrift Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Silicium ; Indiumphosphid ; Elektrolytisches Ätzen ; Nano-ritzen ; Selektivität
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2007 B 15995
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2007 B 8222
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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