Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/980551137 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Neue Methoden zur automatischen Kalibrierung von Modellparametern für die Simulation optischer Lithographieprozesse / vorgelegt von Bernd Tollkühn |
| Person(en) | Tollkühn, Bernd (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | 176 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Tollkühn, Bernd: Neue Methoden zur automatischen Kalibrierung von Modellparametern für die Simulation optischer Lithographieprozesse |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 (Nicht für den Austausch) |
| Schlagwörter | Lithographie <Halbleitertechnologie> ; Computersimulation ; Kalibrieren <Messtechnik> ; Korrelationsanalyse ; Optimierung ; Genetischer Algorithmus |
| DDC-Notation | 621.381531 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2006 A 57334 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2006 A 72474 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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