Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. Die Ausstellungen des Deutschen Exilarchivs 1933-1945 sind von 9 bis 21:30 Uhr geöffnet. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00. The exhibitions of the German Exile Archive 1933–1945 will be open from 9:00 to 21:30.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Preparation and characterization of Carbon Nanotube based vertical interconnections for integrated circuits : Preparation and characterization of Carbon Nanotube based verticalinterconnections for integrated circuits / Holger Fiedler ; Gutachter: Thomas Geßner, Michael Hietschold ; Stefan E. Schulz, Thomas Geßner
Person(en) Fiedler, Holger (Verfasser)
Schulz, Stefan E. (Akademischer Betreuer)
Geßner, Thomas (Akademischer Betreuer)
Geßner, Thomas (Gutachter)
Hietschold, Michael (Gutachter)
Verlag Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz - Chemnitz : Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als: ISBN: 978-3-944640-23-5
Hochschulschrift Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2014
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-149474
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter ULSI ; Integration <Mikroelektronik> ; Kohlenstoff-Nanoröhre ; Durchkontaktieren ; Metallisieren ; Kontaktwiderstand ; Elektrische Eigenschaft ; CVD-Verfahren
DDC-Notation 621.381531 [DDC22ger]; 621.395 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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