Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/981366163 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien / von Anton Bayerstadler |
| Person(en) | Bayerstadler, Anton (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Göttingen : Cuvillier |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | XI, 309 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2006 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-86727-984-0 kart. : EUR 38.00 3-86727-984-5 kart. : EUR 38.00 978-3-86727-984-5 (falsch) kart. : EUR 38.00 |
| EAN | 9783867279840 |
| Schlagwörter | CMOS ; Ultrahochvakuumtechnik ; Gasphasenepitaxie ; Niedrigtemperatur ; Oberflächenreinigung ; In situ |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 A 5603
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2006 A 105752
Bereitstellung in Leipzig |
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