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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1231159618
Titel Vapor phase transport of AlN in an RF heated reactor: Low and high temperature studies / by V. Noveski, R. Schlesser, J. Freitas, S. Mahajan, S. Beaudoin, Z. Sitar
Person(en) Noveski, V. (Verfasser)
Schlesser, R. (Verfasser)
Freitas, J. (Verfasser)
Mahajan, S. (Verfasser)
Beaudoin, S. (Verfasser)
Sitar, Z. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021041008504461138414
DOI: 10.1557/PROC-798-Y2.8
URL https://doi.org/10.1557/PROC-798-Y2.8
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2004
DDC-Notation 620.14 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 798, 1.6.2004, Nr. 1, date:12.2003: 355-360)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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