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Sachbegriffe
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Sachbegriff Reaktives Sputtern
Quelle Wikipedia unter Sputtern
Synonyme Reaktive Kathodenzerstäubung (Thes.Technik)
Reactive sputtering
Reactive sputtering prozess
Oberbegriffe Sputtern
DDC-Notation 667.9
671.735
Systematik 31.8a Fertigungstechnik ; 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Thema in 11 Publikationen
  1. Untersuchungen zur Synthese und Mikrostruktur von Ti2AlN-Dünnschichten sowie deren Schutzwirkung auf ferritische Stähle
    Gröner, Lukas. - Stuttgart : Fraunhofer Verlag, [2020]
  2. Untersuchungen zur Synthese und Mikrostruktur von Ti2AlN-Dünnschichten sowie deren Schutzwirkung auf ferritische Stähle
    Gröner, Lukas. - Freiburg : Universität, 2020
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 2 Publikationen
  1. Untersuchung reaktivgesputterter Schutzschichten im Hinblick auf die Beständigkeit hochreflektierender Silberschichten
    Schwinde, Stefan. - Jena, [2018?]
  2. Bildungsmechanismen bei der Herstellung von CIGSe Solarzellenabsorbern aus nanopartikulären Präkursorschichten
    Möckel, Stefan. - Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2015





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