Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/984080066 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen / Michael Jank |
| Person(en) | Jank, Michael (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | VI, 164 S. : graph. Darst. ; 21 cm, 258 gr. |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Jank, Michael: Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen |
| Hochschulschrift | Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-6159-7 kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 97.60 3-8322-6159-1 kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 97.60 |
| EAN | 9783832261597 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2007,1 |
| Schlagwörter | MOS-FET ; CMOS ; Maskentechnik ; Halbleitersubstrat ; Ionenimplantation ; Prozessoptimierung |
| DDC-Notation | 621.3815284 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 A 39620 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 A 47247 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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