Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=620.1*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/106772947X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchung von yttriumstabilisiertem Hafniumoxid als Isolatorschicht für DRAM-Kondensatoren / Jürgen Gluch. Gutachter: Jürgen Eckert ; Johann W. Bartha. Betreuer: Jürgen Eckert |
| Person(en) |
Gluch, Jürgen (Verfasser) Eckert, Jürgen (Akademischer Betreuer) Bartha, Johann W. (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden - Dresden : Technische Universität Dresden |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gluch, Jürgen: Untersuchung von yttriumstabilisiertem Hafniumoxid als Isolierschicht für DRAM-Kondensatoren |
| Hochschulschrift | Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2011 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-78367 |
| URL | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-78367 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Werkstoffkunde ; Atomlagenabscheidung Dynamisches RAM* ; Kondensator* ; Isolierstoff* ; Atomlagenabscheidung* ; Speicher <Informatik>* ; Krümmungsmessung* ; Mikrostruktur* ; RAM* ; Bauelement* ; Transistor* ; Chip* ; Substrat <Mikroelektronik>* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.39732 [DDC22ger]; 620.195 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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