Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1008997218 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Absolute number density and kinetic analysis of CF, CF2 and C24 molecules in pulsed CF4,H2 rf plasmas / vorgelegt von: Sergey Stepanov |
| Person(en) | Stepanov, Sergey (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (PDF) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Stepanov, Sergey: Absolute number density and kinetic analysis of CF, CF2 and C2F4 molecules in pulsed CF_tn4/H2 rf plasmas |
| Hochschulschrift | Greifswald, Univ., Diss., 2010 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:9-000842-4 |
| URL | http://ub-ed.ub.uni-greifswald.de/opus/volltexte/2010/842/index.html (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | IR-TDLAS ; Absorptionsspektroskopie ; Molekülkinetik ; Fluorkohlenstoffhaltigen Plasmen ; Hochfrequenzplasma |
| DDC-Notation | 530.446 [DDC22ger]; 539.60287 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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