Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/976683792 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Modeling and optimization of cluster tools in semiconductor manufacturing / vorgelegt von Mathias Dümmler. [Bayerische Justus-Maximilian-Universität, Institut für Informatik, Lehrstuhl für Verteilte Systeme] |
| Person(en) | Dümmler, Mathias (Verfasser) |
| Verlag | Würzburg : Inst. für Informatik, Lehrstuhl für Verteilte Systeme |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2004 |
| Umfang/Format | IV, 149 S. : graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Würzburg, Univ., Diss., 2004 |
| ISBN/Einband/Preis | kart. |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Würzburger Beiträge zur Leistungsbewertung verteilter Systeme ; Bericht [20]04,01 |
| DDC-Notation | 621.38152028 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2006 A 19170
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2006 A 37635
Bereitstellung in Leipzig |
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