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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1097403939
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses / Marco Haubold
Person(en) Haubold, Marco (Verfasser)
Organisation(en) Universitätsbibliothek (Chemnitz) (Verlag)
Ausgabe [1. Aufl.]
Verlag Chemnitz : Universitätsverlag
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format 162 Seiten : Illustrationen ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2016
ISBN/Einband/Preis 978-3-944640-75-4 Broschur : EUR 18.00 (AT), EUR 17.50 (DE)
3-944640-75-6
EAN 9783944640754
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Vibrationssensor ; Fertigung ; Wafer ; Silicium ; Mikroschweißen
DDC-Notation 681.25 [DDC22ger]; 671.52 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2016 A 34041
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2016 A 59522
Bereitstellung in Leipzig




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