Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1097403939 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses / Marco Haubold |
Person(en) | Haubold, Marco (Verfasser) |
Organisation(en) | Universitätsbibliothek (Chemnitz) (Verlag) |
Ausgabe | [1. Aufl.] |
Verlag | Chemnitz : Universitätsverlag |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2016 |
Umfang/Format | 162 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2016 |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-944640-75-4 Broschur : EUR 18.00 (AT), EUR 17.50 (DE) 3-944640-75-6 |
EAN | 9783944640754 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Vibrationssensor ; Fertigung ; Wafer ; Silicium ; Mikroschweißen |
DDC-Notation | 681.25 [DDC22ger]; 671.52 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: 2016 A 34041
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2016 A 59522
Bereitstellung in Leipzig |
