Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1097048853
Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Modellierung und Entwurf von resonanten Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb / Thomas Klose. Betreuer: Wolf-Joachim Fischer. Gutachter: Wolf-Joachim Fischer ; Gerald Gerlach ; Peter Schwarz
Person(en)	Klose, Thomas (Verfasser) Fischer, Wolf-Joachim (Akademischer Betreuer) Gerlach, Gerald (Akademischer Betreuer) Schwarz, Peter (Akademischer Betreuer)
Verlag	Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden - Dresden : Technische Universität Dresden
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format	Online-Ressource
Hochschulschrift	Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2016
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-200907
URL	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-200907 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Deutsch (ger)
Schlagwörter	Antrieb <Technik>* ; MEMS* ; Bauelement* ; ANSYS* ; Schubmodul* ; Fertigungstoleranz* ; Drehmoment* ; Hardwarebeschreibungssprache* ; SOI-Technik* ; Werkzeug* ; Normalspannung* ; Reynolds-Zahl* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n)	620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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