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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Monolithische Integration von Millimeterwellenbauelementen auf rückseitenstrukturiertem Silizium / vorgelegt von Jürgen Hasch
Person(en) Hasch, Jürgen (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 6,5 MB
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-32610
URL http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2007/3261/pdf/dissertation_hasch.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2007/3261/ (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Mikromechanik ; Hochfrequenz
DDC-Notation 621.38132 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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