Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/981530923 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Reinigung und Gasphasenepitaxie in einem Ultrahochvakuum-Mehrkammersystem für zukünftige CMOS-Technologien / von Anton Bayerstadler |
| Person(en) | Bayerstadler, Anton (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 11,3 MB |
| Hochschulschrift | München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:706-1616 |
| URL |
http://ub.unibw-muenchen.de/dissertationen/ediss/bayerstadler-anton/inhalt.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://137.193.200.177/ediss/bayerstadler-anton/meta.html (Verlag) |
| Schlagwörter | CMOS ; Ultrahochvakuumtechnik ; Gasphasenepitaxie ; Niedrigtemperatur ; Oberflächenreinigung ; In situ |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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