Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1031879692 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | CMOS-Back-End-of-Line-Prozesse für optische Bauelemente / Frank Hochschulz. Gutachter: Franz-Josef Tegude. Betreuer: Holger Vogt |
| Person(en) |
Hochschulz, Frank (Verfasser) Vogt, Holger (Akademischer Betreuer) Tegude, Franz-Josef (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Duisburg ; Essen : Universitätsbibliothek Duisburg-Essen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Hochschulz, Frank: CMOS-Back-End-of-Line-Prozesse für optische Bauelemente |
| Hochschulschrift | Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Diss., 2012 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:464-20130225-093204-2 |
| URL | http://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DocumentServlet?id=30044 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger]; 621.381542 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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