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Titel Laser assisted particle removal from Silicon wafers / Mario Mosbacher ; Hans-Joachim Münzer ; Micha Bertsch ; Volker Dobler ; Nouari Chaoui ; Jan Philip Siegel ; Roland Oltra ; Dieter Bäuerle ; Johannes Boneberg ; Paul Leiderer
Person(en) Mosbacher, Mario (Mitwirkender)
Münzer, Hans-Joachim (Mitwirkender)
Bertsch, Micha (Mitwirkender)
Dobler, Volker (Mitwirkender)
Chaoui, Nouari (Mitwirkender)
Siegel, Jan Philip (Mitwirkender)
Oltra, Roland (Mitwirkender)
Bäuerle, Dieter (Mitwirkender)
Boneberg, Johannes (Mitwirkender)
Leiderer, Paul (Mitwirkender)
Verlag Konstanz : Bibliothek der Universität Konstanz
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:352-opus-29675
URL http://kops.uni-konstanz.de/handle/123456789/9185 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Particles on Surfaces by K L Mittal, publ by Plenum Publ, accepted as a chapter, 2001 / Mittal, K. L. (Hrsg.). - 6. - Plenum Publ., 2001
Sachgruppe(n) 530 Physik

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