Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1142276813 |
| Art des Inhalts | Konferenzschrift, 2017, Löwen |
| Titel | ICPT 2017 : International Conference on Planarization/CMP Technology : October, 11-13, 2017, Leuven, Belgium / conference chairs: Patrick Ong, IMEC, Leuven, Belgium, Gerfried Zwicker, Fraunhofer Institute for Silicon Technology ISIT, Itzehoe, Germany |
| Person(en) | Ong, Patrick (Herausgeber) |
| Organisation(en) |
ICPT (Veranstaltung : 2017 : Löwen) (Verfasser) VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Herausgebendes Organ) VDE Verlag (Verlag) |
| Verlag | Berlin : VDE VERLAG GMBH |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2017] |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8007-4462-6 : EUR 197.00 (DE), EUR 202.60 (AT) 3-8007-4462-7 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Chemisch-mechanisches Polieren |
| DDC-Notation | 671.72 [DDC22ger]; 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Zugehörige Bände |
2 Publikationen
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