Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Artikel
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Titel Design, Modeling, Fabrication, and Verification of New Multifunctional MEMS/NEMS Components
Person(en) Freitag, Markus (Verfasser)
Sauppe, Matthias (Verfasser)
Auerswald, Christian (Verfasser)
Kriebel, David (Verfasser)
Schmidt, Henry (Verfasser)
Voigt, Sebastian (Verfasser)
Arnold, Benjamin (Verfasser)
Markert, Erik (Verfasser)
Hahn, Susann (Verfasser)
Hiller, Karla (Verfasser)
Heinkel, Ulrich (Verfasser)
Mehner, Jan (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2022080608142426130284
DOI: 10.1002/pssa.201800831
URL https://doi.org/10.1002/pssa.201800831
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 23.07.2019
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Physica status solidi / A / Applications and materials science (Bd. 216, 2019, Nr. 19. 13 S.)

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