Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1270212885 |
| Titel | Heterodynes Interferometer mit vier Strahlen für hochpräzise Längen- und Winkelmessung in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen |
| Verlag | Erlangen : Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2022 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:0287-2022-A010-0 |
| URL | https://www.dgao-proceedings.de/download/123/123_a10.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Interferometer* ; Geräteentwicklung* ; Nanometerbereich* ; Positionierantrieb* ; Messung* ; Messmaschine* ; Präzisionsmessung* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 681.2 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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