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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Herstellung und Analyse thermisch oxidierter SOI-Nanowires / Oliver Horn. Betreuer: Jörg Müller
Person(en) Horn, Oliver (Verfasser)
Müller, Jörg (Akademischer Betreuer)
Verlag Hamburg-Harburg : Universitätsbibliothek der Technischen Universität Hamburg-Harburg
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Hamburg-Harburg, Technische Universität, Diss., 2012
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-13089
URL http://doku.b.tu-harburg.de/volltexte/2014/1308 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Wellenleiter* ; Herstellung* ; Photonik* ; Ätzen* ; Kontaktlithografie* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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