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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/979064724
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Kontinuierliche Oberflächenprofile zur optischen Strahlformung / von Lars-Christian Wittig
Person(en) Wittig, Lars-Christian (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 4,5 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wittig, Lars-Christian: Kontinuierliche Oberflächenprofile zur optischen Strahlformung
Hochschulschrift Jena, Univ., Diss., 2005
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:27-dbt-005489-9
URL http://www.db-thueringen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-8291/Wittig/Dissertation_Wittig.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://www.db-thueringen.de/dissOnline/FSU_Jena_Wittig_Lars-Christian (Verlag)
Schlagwörter Elektronenstrahllithographie / Lithographie <Halbleitertechnologie>
DDC-Notation 535.324 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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