Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/984864806 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung eines Nadelsensor-Rasterkraftmikroskops für die Fehleranalyse an integrierten Schaltungen / von Claus Hartmann |
| Person(en) | Hartmann, Claus (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 4,2 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwicklung eines Nadelsensor-Rasterkraftmikroskops für die Fehleranalyse an integrierten Schaltungen |
| Hochschulschrift | Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:464-20070628-144930-2 |
| URL | http://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-17199/Hartmann_Diss.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| DDC-Notation | 621.381548 [DDC22ger]; 681.413 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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