Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1179845749 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Elastizitätsmodul und Bruchfestigkeit von Poly-Silizium-Membranen kommerzieller MEMS-Mikrofone / John Brückner |
| Person(en) | Brückner, John (Verfasser) |
| Organisation(en) | Shaker Verlag (Verlag) |
| Ausgabe | [1. Auflage] |
| Verlag | Düren : Shaker Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2019 |
| Umfang/Format | xiv, 162 Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 21 cm, 276 g |
| Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2018 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8440-6608-1 Broschur : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), CHF 61.10 (freier Preis) 3-8440-6608-X |
| EAN | 9783844066081 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Schlagwörter | Mikrofon ; MEMS ; Technische Membran ; Silicium ; Polykristall ; Dünne Schicht ; Elastizitätsmodul ; Bruchfestigkeit ; Probekörper <Werkstoffprüfung> |
| DDC-Notation | 621.382840287 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2019 A 29074
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2019 A 67753
Bereitstellung in Leipzig |
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