Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Negative ions and operation modes in capacitively coupled RF oxygen discharges / vorgelegt von Christian Küllig
Person(en) Küllig, Christian (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format IX, 117 S. : graph. Darst. ; 31 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Küllig, Christian: Negative Ions and Operation Modes in Capacitively Coupled RF Oxygen Discharges
Hochschulschrift Greifswald, Univ., Diss., 2013
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen Enth. 6 Sonderabdr. aus verschiedenen Zeitschr.
DDC-Notation 530.446 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2014 B 934
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2013 B 37207
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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