Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung / Thomas Schafbauer
Person(en) Schafbauer, Thomas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format 146 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Schafbauer, Thomas: Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2001 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Rapid thermal processing ; Halbleitertechnologie ; Siliciumbauelement ; Prozessregelung ; Prozessoptimierung
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 2001 B 4580
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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Leipzig Signatur: H 2001 B 4580
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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