Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1177298422 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen / Andreas Benkenstein ; Gutachter: Peter Schaaf, Andreas Bund ; Betreuer: Birger Dzur |
| Person(en) |
Benkenstein, Andreas (Verfasser) Dzur, Birger (Akademischer Betreuer) Schaaf, Peter (Gutachter) Bund, Andreas (Gutachter) |
| Organisation(en) | Ilmenau Media Services (Verlag) |
| Verlag | Ilmenau : TU Ilmenau - Ilmenau : Universitätsverlag Ilmenau |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2019 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Benkenstein, Andreas: Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen |
| Hochschulschrift | Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2018 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2018000106 |
| URL | https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00038144 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Hohlkathode* ; Beschichten* ; Hohlkathodenentladung* ; Plasma* ; Beschichtung* ; Sack* (*maschinell ermittelt) |
| Sachgruppe(n) | 660 Technische Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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