Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
Treffer 760 von 6527
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1193743257 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Pb(Zr,Ti)O3-Dünnschichten zur Anwendung in mikroelektromechanischen Systemen / Andreas Schatz |
| Person(en) | Schatz, Andreas (Verfasser) |
| Organisation(en) | Shaker Verlag (Verlag) |
| Ausgabe | [1. Auflage] |
| Verlag | Düren : Shaker Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2019 |
| Umfang/Format | vi, 165 Seiten : Illustrationen ; 24 cm, 322 g |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität Freiburg, 2019 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8440-6937-2 Broschur : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), CHF 61.10 (freier Preis) 3-8440-6937-2 |
| EAN | 9783844069372 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Microactuators - design and technology ; volume 18 |
| Schlagwörter | MEMS ; PZT ; Dünne Schicht ; Impulslaserbeschichten ; Mikrostruktur ; Piezoelektrizität ; Druckabhängigkeit ; Temperaturabhängigkeit ; CMOS ; Versuchsplanung |
| DDC-Notation | 621.3815 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2019 A 64939
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2020 A 8728
Bereitstellung in Leipzig |
Treffer 760 von 6527
Administration
