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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1024275841
Art des Inhalts Aufsatzsammlung
Titel Bio and Nano Packaging Techniques for Electron Devices : Advances in Electronic Device Packaging
Person(en) Gerlach, Gerald (Herausgeber)
Wolter, Klaus-Jürgen (Herausgeber)
Verlag Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2012
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Bio and nano packaging techniques for electron devices
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-20120717243
DOI: 10.1007/978-3-642-28522-6
URL https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-642-28522-6 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-642-28522-6
EAN 9783642285226
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Halbleitergehäuse ; Verbindungstechnik ; Dreidimensionale Integration ; Nanolithografie ; Nanobiotechnologie ; Nanoelektromechanik ; MEMS ; Aufsatzsammlung
DDC-Notation 621.381046 [DDC22ger]; 620.5 [DDC22ger]; 660.6 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 660 Technische Chemie

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