Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1037725360 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Influence of vacancies introduced by RTA on the nucleation, size, morphology, and gettering efficiency of oxygen precipitates in silicon wafers / Dawid Kot. Betreuer: Martin Kittler |
| Person(en) |
Kot, Dawid (Verfasser) Kittler, Martin (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Cottbus : Universitätsbibliothek der BTU Cottbus |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kot, Dawid: Influence of vacancies introduced by RTA on the nucleation, size, morphology, and gettering efficiency of oxygen precipitates in silicon wafers |
| Hochschulschrift | Cottbus, Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Diss., 2013 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:kobv:co1-opus-28435 |
| URL | http://opus.kobv.de/btu/volltexte/2013/2843/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Silicium ; Wafer ; Sauerstoff ; Getterung ; Thermomechanische Behandlung |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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