Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/999089889 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren / vorgelegt von Nina Roth |
Person(en) | Roth, Nina (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,7 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Roth, Nina: Kupfer- und Ruthenium-Precursoren |
Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200901579 |
URL |
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0157/data/Dissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0157 (Verlag) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Carboxylate ; Diketonate <beta> ; Effusionsmethode ; Kupfer ; MOCVD-Verfahren ; Phosphane ; Phosphite ; Ruthenium ; Thermogravimetrie |
DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger]; 547.05 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 540 Chemie |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
