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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/999089889
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren / vorgelegt von Nina Roth
Person(en) Roth, Nina (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 3,7 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Roth, Nina: Kupfer- und Ruthenium-Precursoren
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200901579
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0157/data/Dissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2009/0157 (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Carboxylate ; Diketonate <beta> ; Effusionsmethode ; Kupfer ; MOCVD-Verfahren ; Phosphane ; Phosphite ; Ruthenium ; Thermogravimetrie
DDC-Notation 671.735 [DDC22ger]; 547.05 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 540 Chemie

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