Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/118002852X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mikro- und Nanostrukturierung mit kurz und ultrakurz gepulster Laserstrahlung / Karl-Heinz Leitz ; Gutachter: Michael Schmidt; Andreas Ostendorf, Ruhr-Universität Bochum ; Betreuer: Michael Schmidt ; Herausgeber: Jörg Franke, Marion Merklein, Michael Schmidt |
| Person(en) |
Leitz, Karl-Heinz (Verfasser) Schmidt, Michael (Akademischer Betreuer) Schmidt, Michael (Gutachter) Ostendorf, Ruhr-Universität Bochum, Andreas (Gutachter) Franke, Jörg (Herausgeber) Merklein, Marion (Herausgeber) Schmidt, Michael (Herausgeber) |
| Verlag | Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2013 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus4-106324 |
| URL | https://opus4.kobv.de/opus4-fau/frontdoor/index/index/docId/10632 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Fertigungstechnik - Erlangen ; 241 |
| Anmerkungen | In: Bamberg : Meisenbach |
| Schlagwörter | Lithografie <Halbleitertechnologie> ; Nanostruktur ; Ultrakurzer Lichtimpuls ; Optische Pinzette ; Nahfeld |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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