Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
Treffer 797 von 1817
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1005857970 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Thin films of copper oxide and copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices = Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente / von: Thomas Wächtler |
| Person(en) | Wächtler, Thomas (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (PDF) |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2010 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-201000725 |
| URL | http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2010/0072 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Kupfer ; Kupferoxide ; Dünne Schicht ; Atomlagenabscheidung ; Metallisieren |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger]; 621.3815 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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