Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Titel Surface-near analyses of ultra thin silicon nitride layers by NRA, channeling RBS, FT IR ellipsometry and AFM / by A. Markwitz, H. Baumann, W. Grill, B. Heinz, A. Röseler, E. F. Krimmel, K. Bethge
Person(en) Markwitz, A. (Verfasser)
Baumann, H. (Verfasser)
Grill, W. (Verfasser)
Heinz, B. (Verfasser)
Röseler, A. (Verfasser)
Krimmel, E. F. (Verfasser)
Bethge, K. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2019092807150187348889
DOI: 10.1007/BF00321360
URL https://doi.org/10.1007/BF00321360
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1995
DDC-Notation 530.417 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Fresenius' journal of analytical chemistry (Bd. 353, Nr. 5-8, date:1.1995: 734-739)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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